Вакуумската облога го продолжува животниот век на потрошниот материјал во индустријата за полупроводници и го намалува времето на прекин на комората.Материјалите за обложување се движат од сплотена силициум диоксид до цирконија стабилизирана со итриа, а облогите се оптички проѕирни и хемиски инертни.Сето ова значи пониски трошоци за сопственост преку синхронизирање на циклусите на одржување.
Време на објавување: Јуни-16-2022 година